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第274章 分子级别超纯水 (第5/8页)

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力和计算机控制能力要求极高,在镜头下方的工作区稳定的建立起那层超薄水膜不比生产光刻机简单到哪去,如果精密加工和精密控制的能力不行,会导致晶圆边缘的曝光很差,严重影响晶圆生产线的良品率。

不过喷淋法最大的优点就是能完整的利用现有设备,可以说这套喷水和吸水的设备完全独立于晶圆生产线,只和光刻镜头联动,进行晶圆生产线技术升级时难度和改建成本都极低。

第二种叫浴缸法,这个方法和梁远刚刚说的灵感类似,就是把整片晶圆都丢在水里,装晶圆的容器→浴缸随着晶圆工作台移动。

这种方法的好处是工程上的技术难度较低,不会对晶圆生产线的良品率造成负面影响,不过缺点是要对现有的晶圆生产线做较大的改动,必须研制全新的能在水中工作的光刻胶,必须对晶圆工作台加以改进,而且由于晶圆工作台上增加了水的重量,晶圆生产线的生产节拍也会随之改变,相比喷淋法晶圆生产线的生产效率会有一定幅度的下降。

第三种叫泳池法,就是把整个光刻程序都丢进水里来完成,这种方法虽然能最大化的减少线宽,不过在水中操作相当于重新研发一套晶圆生产体系,无论工程难度还是经济成本都双双过高。

新世纪之后,浸入式光刻机的国际主流路线采用了喷淋法,不过以港基集电目前的实力来说,第二种浴缸法才是最合适的,新世纪之后尼康和艾斯摩尔之所以选了喷淋法路线,一个是两家精密加工和精密控制的水准高没门槛,另一个是国际上现存的光刻设备大部分都是这俩家卖的,当然是升级成本越低升级方式越简单越好。

九十年代初,制程工艺和芯片设计之间的分界远没有未来那般清晰,技术大佬三人组目前虽然都是以芯片设计为主业,但三人都对晶圆制程了如指掌,随便丢到那条产线上当个线长绝对是富富有余。

刘飞扬在纸上龙飞凤舞的写了大半张的算式,然后抬头用无法置信的语气对梁远说道:“大少,如果从西门子引进的设备投产,把大少这个想法放进生产线,我们直接就撵上国际先进水准了~~”

港基集电主导的共和

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